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研制成功的动态流量法超高真空标准装置是一台用来校准真空规的绝对真空计量标准。装置由校准系统、微流量计系统、抽气系统和计算机控制系统组成。校准系统采用四球结构，校准球室直径为５００ｍｍ。极限压力６．５×１０〈’－９〉Ｐａ，校准范围１０〈’－２￣１０〈’－７〉Ｐａ，不确定度３℅（１０〈’－２〉￣１０〈’－６〉Ｐａ）和１０℅（１０〈’－７〉Ｐａ）。