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本篇论文考虑了边缘效应的影响,用库特模式(Couette-type)和斯托克斯模式(Stocks-type)两种流体边界层理论建立了一个分析计算模型,对几种横向振动谐振器的Q值进行了计算,其平均误差小于10℅.
横向振动微结构空气阻尼的理论研究
【摘 要】
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本篇论文考虑了边缘效应的影响,用库特模式(Couette-type)和斯托克斯模式(Stocks-type)两种流体边界层理论建立了一个分析计算模型,对几种横向振动谐振器的Q值进行了计算,其
【机 构】
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东南大学微电子中心(南京)
【出 处】
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第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2000年期
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