一种消除计算全息检测非球面鬼像的方法

来源 :2009年江苏省“光科学与技术”博士生学术论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nibeibei
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目前非球面测试方法大致可以分为零位测量和非零位测量两类,计算全息(CGH)是目前进行补偿测试非球面较理想的方法,但共轴计算全息由于衍射级次的重叠,中心区域无法测量,而离轴计算全息通过在位相函数上加离轴载频,将衍射级次横向分离,避免了各级次在中心区域的重叠。本文在泰曼-格林干涉装置中将离轴CGH置于观察臂,从CGH的衍射光中选取0级参考光和-1级测试光,获得干涉图实现测量,其中非球面由标准透镜组和CGH共同进行补偿。实验显示,离轴CGH的使用消除了其他衍射级次叠加引起的鬼像,完整地测量了非球面,同时分光路设计在提高干涉图对比度的同时,也增加了误差来源,所以对分光镜等器件的要求更高。
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