【摘 要】
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<正>近年来,随着纳米科学技术与柔性电子的兴起和发展,通过离子束沉积法、磁控溅射法、化学气相沉积法等技术手段沉积在柔性基底上的功能性微纳米薄膜迅速成为人们关注的焦点
【机 构】
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清华大学应用力学教育部重点实验室;
【基金项目】
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国家自然科学基金(项目号:11672153);国家重点研发计划(项目号:2017YFB1103900)的资助
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<正>近年来,随着纳米科学技术与柔性电子的兴起和发展,通过离子束沉积法、磁控溅射法、化学气相沉积法等技术手段沉积在柔性基底上的功能性微纳米薄膜迅速成为人们关注的焦点。在生产和服役过程中,薄膜-基底结构常常受到力、电、热等载荷的作用。一般而言,柔性基底可承受较大的变形,而薄膜在小变形范围内即可伴随有内部高应力的产生,其力学特性与行为直接影响着微器件的可靠性与性能。在复杂的受力状态下,薄膜可产生多种失效形式,如裂纹的萌生与扩展,薄膜的屈曲与脱粘。同时薄膜基底之间粘
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