【摘 要】
：
采用射频磁控溅射方法在普通玻璃基片上沉积Cu膜,研究了在100℃的沉积温度下,不同厚度、溅射功率以及热处理温度对Cu膜结构及电学性能的影响.结果表明,在相同溅射功率下,随着
【机 构】
：
武汉理工大学硅酸盐建筑材料国家重点实验室,湖北省武汉市,430070
论文部分内容阅读
采用射频磁控溅射方法在普通玻璃基片上沉积Cu膜,研究了在100℃的沉积温度下,不同厚度、溅射功率以及热处理温度对Cu膜结构及电学性能的影响.结果表明,在相同溅射功率下,随着厚度的增加,结晶度增加,电阻率下降,到厚度达到450nm以后,结晶度依旧增大,而电阻率达到稳定值约为60μΩ/cm;在同一膜厚下,随着溅射功率的增加,结晶度降低,但是Cu膜的电阻率也降低;热处理后,Cu膜的结构和性能有很大变化,400℃左右,Cu膜电阻率降到最低,降到3μΩ/cm左右.
其他文献
分析南宁市气象应急体系建设工取得的主要成绩,探讨存问题,提出完善南宁市气象应急体系建设工作的对策和建议。
信用评级业是维护国家金融主权和经济安全的重要力量,中国信用评级业正开拓国内与国际两个市场,在高度垄断的全球信用评级市场力争扩大国际话语权。而美国评级机构不断加大向
<正>笔者对立体几何中的动点问题进行研究,发现通过考查问题的极端状态、灵活地借助极限思想,往往可以避开抽象、复杂的空间想象,探索出解题思路、降低解题难度.极限思想,就
2009年8月日本的众议院选举,民主党击败自民党获得政权,党首鸠山由纪夫出任首相。这一被媒体称之为政治大地震的选举结果,突出表现了日本国内政治生态的结构性变化,必将推进
<正>案例分析某次班会上,我给学生系统地讲解了国家、学校的"奖、助、贷、勤、减、补"资助政策。会后,学生于帅(化名)跟我说:"老师,我家经济特别困难。我想申请资助,但是不符
冶金设备的安装、调试需要多种学科的知识予以配合。通过系统性综合分析,充分了解冶金设备的安装、调试过程中的细节,明确各项工艺流程及注意事项,这对相关人员的技术提升具
在许多经济交往中，支票的使用操作不规范，一些仅载明出票人签章和金额的支票被多次流通，一旦涉诉，持票人将会面临票据纠纷。$$案件回放$$支票未填日期索赔被驳回$$2005年，孙某、邹
网络词汇是网络时代的产物、以当代热点问题为主,它是我国网民智慧的结晶,并被各种媒体广泛使用,这是中国政府和人民与时俱进、关注民生的表现,同时网络词汇也丰富了我国的语
本文简要介绍了计算机辅助审计技术的概念、原理和一般方法,并针对计算机辅助设计的常用软件进行了简要概述,最后对计算机辅助审计技术的现状做了总结,并展望了未来的发展。
和体育学的其他子学科相类似的是,运动生理学作为一个科学领域在研究(新知识的创新和消化)和教育(课堂教学和学生指导)方面也面临着巨大的挑战。我们可以通过分析运动生理学