论文部分内容阅读
电定位技术是电子束曝光机的一项重要技术。它可对电子束扫描场畸变进行修正，从而使电子束曝光的图形能够进行场与场之间的精确拼接；它还能对曝光过程中电子束的零漂进行修正，从而保证了在长时间曝光中图形的套刻精度。介绍了ＤＢ７业微米电子束曝光机上的电定位系统及其对主机的贡献。
ＤＢ７亚微米电子束曝光机的电定位系统
【摘 要】
：
电定位技术是电子束曝光机的一项重要技术。它可对电子束扫描场畸变进行修正，从而使电子束曝光的图形能够进行场与场之间的精确拼接；它还能对曝光过程中电子束的零漂进行修正，从
【机 构】
：
产业部电子第48研究所(长沙)
【出 处】
：
第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
：
1999年期
其他文献
分析了闪光－1的预脉冲电压和降低预脉冲电压的效果；采用容性电压探测器实现了对阴阳极间预脉冲电压的监测；比较实测波形和预计波形后，提出了改进的的等效电路模型，并指出了Blumlei
一个无法付诸实施的悖论rn据篇记载,在我国先秦时代曾流传着一个“两可”的故事:郑国夏季炎热多雨,境内常常洪水泛滥.在一次洪水中,有一位郑国的富人淹死了.有人捞得死者的尸
商标是一种特殊的语言符号,是商品显著特征的浓缩,是商品文化的核心部分,是企业参与国际竞争的有力武器。它既是标识,又是诱饵,最终是要招揽顾客,出售商品。商标翻译符合符号
作者在研制激光数字点阵全息图的基础上，尝试使用电子束刻蚀系统制作数字像元全息图以期用于防伪和保密模压全息图的制作。并对电子束刻蚀制作数字元全息图的优缺点加以讨论。
SINUS-881是一台重复频率相对论电子束加速器，其最高重复频率为100p.p.s.，单次运行状态下，二极管输出电压1MV，电流10KA；重复频率运行状态下，二极管输出电压0.8MV，电流8KA。该文叙述
介绍了Ｆ１系统ＰＣ及其模拟量单元（Ｆ１－６Ａ－Ｅ）组成的束流可编程控制系统，并给出两种应用实例的编程方法。