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微波等离子体以无内部电极污染、电离度高、电子密度高、较高的离子温度和电子温度、运行气压范围宽等优点在薄膜沉积、材料表面改性等工艺中得到广泛应用。大气压微波等离子体粒子密度更大、无需配置和维护昂贵的真空设备及易于连续化加工等，因此正逐渐成为新的研究热点。从最初能激发低气压微波等离子体的环形波导等离子体设备，接着到矩形波导以及槽波导微波等离子体源，逐步到同轴腔微波等离子体源，到最后的平行矩形波导微波等离子体源。同时，对各种微波等离子体源的原理和结构及相关特性进行了全面阐述；说明了在一定的微波功率范围内得到稳定均匀的大气压微波等离子体的可行性。