【摘 要】
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为解决传统非接触式静电仪工作时振动或旋转部件裸露在外、无法在静电高危区域使用、无法测量运动人体带电情况等问题,本论文研制出基于MEMS电场传感器的非接触式静电测量装置.该装置基于封装后的电场传感器芯片,具有无裸露可动部件、安全性高、环境适应性强等突出优点,满足粉尘浓度高、易燃油气浓度高等恶劣环境下的使用需求.试验结果表明,该装置测量范围为-30kV～30kV,分辨力优于50V,总不确定度优于3％.
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术联合国家重点实验室;北京中科飞龙传感技术有限责任公司 中国科学院电子
【出 处】
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ESD-S第五届静电防护与标准化国际研讨会
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为解决传统非接触式静电仪工作时振动或旋转部件裸露在外、无法在静电高危区域使用、无法测量运动人体带电情况等问题,本论文研制出基于MEMS电场传感器的非接触式静电测量装置.该装置基于封装后的电场传感器芯片,具有无裸露可动部件、安全性高、环境适应性强等突出优点,满足粉尘浓度高、易燃油气浓度高等恶劣环境下的使用需求.试验结果表明,该装置测量范围为-30kV～30kV,分辨力优于50V,总不确定度优于3％.
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