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该文以标量散射理论为基础，用概率统计的方法建立了激光散射密度的角分布与表面粗糙度参数之间关系的数学表达式。设计了激光散射法的粗糙度测量系统，实现了对光滑平面粗糙度参数的测量。实验证明了数学模型是正确的，系统是可行的。（本刊录）
激光散射表面粗糙度测量原理与系统
【摘 要】
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该文以标量散射理论为基础，用概率统计的方法建立了激光散射密度的角分布与表面粗糙度参数之间关系的数学表达式。设计了激光散射法的粗糙度测量系统，实现了对光滑平面粗糙度参
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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1986年中日电子敏感技术科学讨论会
【发表日期】
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1986年期
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