【摘 要】
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文中介绍了新颖的光敏HfO2/SiO2溶胶-凝胶玻璃的合成过程.采用红外傅里叶变换分析了HfO2/SiO2溶胶-凝胶玻璃感光聚合后和聚合前的内部结构变化.采用X射线光子吸收光谱分析了H
【机 构】
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中科院西安光学精密机械研究所,西安,710119
【出 处】
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2007年中俄衍射光学技术高端研讨会
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文中介绍了新颖的光敏HfO2/SiO2溶胶-凝胶玻璃的合成过程.采用红外傅里叶变换分析了HfO2/SiO2溶胶-凝胶玻璃感光聚合后和聚合前的内部结构变化.采用X射线光子吸收光谱分析了HfO2/SiO2溶胶-凝胶玻璃的成分.描述了采用新颖的光敏HfO2/SiO2溶胶-凝胶玻璃结合软刻蚀方法在曲面基底上制作变间距光栅和微透镜阵列的工艺过程,并给出了曲面光栅和曲面微透镜阵列的相关光学检测性能.
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