【摘 要】
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采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)技术制备nc-TiC/a-C:H纳米复合膜,用X射线衍射、扫描电镜、X射线电子能谱、原子力显微镜、拉曼光谱、高分辨透射电子显微镜和纳米力学探针等研究
【机 构】
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射线束技术与材料改性教育部重点实验室; 北京师范大学核科学与技术学院; 北京市辐射中心;
论文部分内容阅读
采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)技术制备nc-TiC/a-C:H纳米复合膜,用X射线衍射、扫描电镜、X射线电子能谱、原子力显微镜、拉曼光谱、高分辨透射电子显微镜和纳米力学探针等研究了纳米复合膜的成分、结构及其性能。实验结果表明:通过改变乙炔气体流速、过滤线圈电流或基体负偏压,可以控制纳米复合薄膜的成分、结构、形貌、机械和摩擦性能。通过优化制备工艺,得到5-10mm的TiC品粒镶嵌于非晶a-C:H之中的纳米复合膜结构,纳米复合薄膜具有超高硬度(66.4GPa)、高H/E比例和高弹性恢复率。
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