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本文通过调节气压改变了预制层的初始结晶和薄膜的疏松度，气压为0.4Pa时，预制层初始结晶度为最佳，由表面粗糙度反映的薄膜结构的疏松度也最大。两个因素的共同作用，使得金属预制层在高活性硒气氛下经两步硒化之后形成的CIGS固溶体，可有效提高电池器件性能。
预制层溅射气压对CIGS薄膜结构及电池器件的影响
【摘 要】
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本文通过调节气压改变了预制层的初始结晶和薄膜的疏松度，气压为0.4Pa时，预制层初始结晶度为最佳，由表面粗糙度反映的薄膜结构的疏松度也最大。两个因素的共同作用，使得金属预制层在高活性硒气氛下经两步硒化之后形成的CIGS固溶体，可有效提高电池器件性能。
【机 构】
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南开大学电子信息与光学工程学院光电子所;天津城建大学理学院 南开大学电子信息与光学工程学院光电子所
【出 处】
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2015中国光伏大会暨第十五届中国光伏学术年会
【发表日期】
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2015年3期
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