【摘 要】
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本文采用一种新型大面积阳极层离子束技术成功制备出了均匀高性能的类金刚石薄膜(DLC膜)。利用表面轮廓仪、Raman光谱、纳米压痕和摩擦磨损仪等对薄膜的厚度(沉积速率)、碳结
【机 构】
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表面工程与再制造事业部中科院宁波材料技术与工程研究所;
【基金项目】
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浙江省科技攻关(2008C21055)资助项目;宁波市国际合作(2008B10046)资助项目
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本文采用一种新型大面积阳极层离子束技术成功制备出了均匀高性能的类金刚石薄膜(DLC膜)。利用表面轮廓仪、Raman光谱、纳米压痕和摩擦磨损仪等对薄膜的厚度(沉积速率)、碳结构、硬度和摩擦磨损性能进行了研究。结果表明:在300 mm×100 mm的矩形范围内,获得了均匀类金刚石薄膜。纵向厚度均方差约10~12 nm;横向薄膜厚度均方差约2~4 nm。衬底负偏压对薄膜的结构和性能有很大的影响。在偏压为-100 V左右时,薄膜中sp3杂化键含量最高,硬度和弹性模量最大(分别约为26 GPa和230 GPa)。同时,薄膜表现出较低的摩擦系数(<0.21)和磨损率(约为1.0×10-8 mm3/(N?m))。
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