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S-枪反应溅射粒子能量角度分布的Monte Carlo计算及其对压电薄膜定向生长影响的实验研究
【机 构】
:
浙江大学
【出 处】
:
中国声学学会超声电子学分科学会1987年学术交流会
【发表日期】
:
1987年期
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