【摘 要】
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以大电流强发射为特点的Spindt阴极,在初期老炼时容易由于短路、漏电和打火而失效.分析认为引起失效的一个重要原因,是在双向沉积尖锥及牺牲层剥离过程中,金属碎屑在发射尖锥
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十二研究所 微波电真空器件国家级重点实验室 北京 100015
【出 处】
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中国电子学会真空电子学分会第十九届学术年会
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以大电流强发射为特点的Spindt阴极,在初期老炼时容易由于短路、漏电和打火而失效.分析认为引起失效的一个重要原因,是在双向沉积尖锥及牺牲层剥离过程中,金属碎屑在发射尖锥表面及空腔中产生附着,而这种附着没有在随后的传统纯水清洗过程中得到有效去除.研究中提出了在常规工艺中引入超声波清洗和兆声波清洗技术,初步试验表明,超声波容易造成阴极损伤且对微小碎屑的去除效果不好,而兆声波清洗则可将阴极失效率大幅降低.
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