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为了有效地利用已有的集成电路工艺设计实例知识，解决设计过程中的"知识饥荒"和"知识定位"问题，从知识工程的角度出发，以集成电路工艺实例作为研究对象，提出了基于特征的集成电路工艺实例的分层框架式工艺知识建模和基于综合相似度算法的工艺知识聚类方法，提出了针对时序型知识的工艺时序相似度算法、针对文本型、离散型、区间型知识的工艺内容相似度算法，实现了集成电路工艺的知识聚类，最后以某公司已有的晶圆处理工序为例进行验证，证实该方法的有效性。