【摘 要】
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干式真空泵作为核心装备广泛应用于IC产业和流程工业。由于运行条件苛刻,内部流动和热力学机制复杂,其设计理论和产品研发越来越受到重视。本文基于动网格方法建立了多级干式
【机 构】
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东北大学机械工程与自动化学院; 中国科学院沈阳科学仪器研制中心;
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干式真空泵作为核心装备广泛应用于IC产业和流程工业。由于运行条件苛刻,内部流动和热力学机制复杂,其设计理论和产品研发越来越受到重视。本文基于动网格方法建立了多级干式罗茨真空泵的三维瞬态数值模型,计算了真空泵的性能参数,分析了泵内的流动过程、现象和流场的主要特征。为研究和分析多级干式真空泵的设计问题提供了手段和参考。
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