研究表明，在摩擦副表面加工出合理的表面织构能够显著改善摩擦副的摩擦性能，起到抗磨损减摩擦的效果。微坑阵列作为一种有效的表面织构已经在工程中得到广泛的应用，比如在发动机活塞/活塞环和缸套上加工出微坑阵列能够显著降低摩擦损失，提高能源利用率。本文研究了数十微米到数百微米微坑阵列结构的掩膜电解加工技术，主要完成以下内容：（1）研究了活动模板电解加工圆柱内表面微坑阵列技术，研制了专用的电解加工夹具，试验研究了冲液压力、电流密度对微坑形貌的影响。采用正交试验，研究了加工电压、加工时间、占空比对微坑定域性和深径比影响，优化出工艺试验参数，在气缸套内表面加工了平均直径220μm，平均深度15μm的微坑阵列。（2）提出干膜辅助电解加工微坑阵列技术，研究了曝光、显影工艺对干膜上通孔阵列的影响，并进行电解加工基础工艺试验，研究了加工间距、加工电压和加工时间对微坑形貌的影响，结果表明该方法可以加工出直径介于40μm~200μm之间的微坑阵列。