大功率射频板条CO₂激光器是激光切割和焊接的主力光源，其核心技术主要包括电极技术、光腔技术、匹配技术以及电源技术。本论文以30kW自激式电子管射频激光电源为研究对象，主要研究内容如下：（1）分析射频电源的屏极高压电路的原理。屏极高压电路主要包括低压线性滤波器、升压电路、软启动电路、整流电路。三相电经过线性滤波器之后经过高压升压变压器变为交流高压，在高压启动过程中需要添加软启动电路，防止高压瞬间启动对电子管造成伤害。脉动交流高压经过整流硅堆之后变为直流高压，直流高压通过滤波电容之后加载到电子管的屏极。（2）设计高压检测电路。高压检测电路能实时的检测电源中高压的电压电流数值，当出现电流异常情况时，电路发出报警信号，同时切断回路电源，防止意外情况产生。设计的高压电流电压检测报警电路已稳定运行于射频板条激光器电源。（3）对栅极放大电路和检测电路进行调试研究，对实验结果进行分析和处理，提出了电源系统存在的不足之处以及需要改进的地方。（4）设计栅极PWM脉冲发生器电路。PWM脉冲发生器产生占空比可调的PWM方波，同时可与PLC进行通讯，通过PLC可控制PWM的频率和占空比，从而达到控制激光器功率的目的。本论文为高功率、高光束质量CO₂气体激光器研究的重要组成部分，设计的电路在激光电源上稳定运行，对高功率、高光束质量CO₂气体激光器具有重大的应用价值。