微小零件的表面形貌对其使用性能尤其是摩擦、支承和润滑等性能有着重要影响,其分析与评定是性能、质量提高的前提和基础。然而,传统的评定方法主要局限在二维层面上,已无法满足现代制造领域的要求。本学位论文在MATLAB GUI平台上,研制了一套基于小波分析的具有交互性、直观性、可动态观察表面形貌特征的二维、三维参数评定软件系统,研究工作包括:(1)分析加工表面特征,构建了零件表面的三维形貌数学模型,在此基础上建立了小波提取评定基准面模型;分析了常用小波函数的特性,选取能量守恒的正交小波用于评定基准面提取;根据小波重构误差选定sym5为最优小波函数,通过小波分解各层信号能量大致呈指数变化的规律选定了合适的小波分解次数。(2)以ISO25178-2标准为依据,阐述了24个代表性的表面参数定义及表征意义,给出并优化了幅度、空间、综合参数离散算法的具体编程方法。基于GUI平台,设计研制了表面形貌的二维、三维参数评定系统,实现了数据加载、特征提取、2D/3D参数计算、三维图像显示及动态观察等功能。(3)通过模拟典型理想表面(锯齿—凸台—台阶)对评定参数的离散算法进行了可行性测试,实验结果表明离散算法可行;基于实际表面(量块—微小零件)的形貌数据,比较了本系统与可作为标准的形状测量激光显微系统,结果表明参数值误差基本在误差允许范围内,验证了本系统的有效性。然后对14个三维参数进行有效性分析,组建了一组可广泛评定零件加工表面三维形貌的参数组,分别为Sq、Ssk、Sds和Sdq。