金属氧化物（MOS）半导体气敏传感器具有价格低廉、响应较快以及体积小等优点,广泛地应用于气体检测中。然而,由于存在选择性较差和工作温度较高等缺点,不利于金属氧化物半导体气敏传感器在实践中的应用。为了克服这些缺点,本文利用掺杂和表面修饰的方法提高金属氧化物半导体气敏传感器的气敏性能,改善其使用性能。本文采用机械球磨法制备了22种不同掺杂的纳米ZnO气敏材料并配制成浆料,再用丝网印刷技术将浆料印在8阵列基片上,经干燥、烧结,制得8阵列ZnO气敏传感器。通过浓度分别为0.02%、0.12%、0.04%的乙醇、丙酮、苯的测试,对比不同掺杂元素的化学性质对ZnO气敏传感器性能的影响,研究表明:掺杂元素的离子半径对ZnO气敏传感器的气敏性能影响较大,当掺杂元素的离子半径为0.072-0.088nm时,接近Zn离子半径,表现出的灵敏性最佳。掺杂元素的周期对ZnO气敏传感器的气敏性能有一定的影响,而化合价对ZnO气敏传感器的气敏性能几乎没有影响。此外,采用溶胶凝胶法制备介孔SnO₂粉末,对其进行表征,并以介孔SnO₂为修饰物,通过丝网印刷法对掺入少量玻璃料的SnO₂进行表面修饰后制备SnO₂传感器,通过浓度为10ppm的乙醇、丙酮、苯和1000ppm的H₂的测试,研究表面修饰对SnO₂的气敏性能的影响。研究发现,经介孔SnO₂表面修饰后,SnO₂气敏传感器对乙醇、丙酮、苯和H₂的气敏性能都得到了很大的提高。表面修饰后的SnO₂气敏传感器对1000ppm的H₂的气敏性能得到了极大的提高,在300℃下,对1000ppm的H₂的响应值从2.8提高至16,极大地改善了对H₂的选择性。利用转印法对掺入少量玻璃料的SnO₂进行表面修饰,测试材料对乙醇、丙酮、苯和H₂的气敏性能。通过转印法对SnO₂进行表面修饰后,传感器对乙醇、丙酮和苯的最佳工作温度从300℃下降至250℃,响应值也得到了提高,在250℃下对10ppm乙醇、丙酮、苯的响应值分别高达7.5、6.5、2.8,在300℃下对1000ppmH₂的响应值高达8.5,气敏性能得到了极大提高。相比于丝网印刷法,转印法制得的SnO₂传感器对丙酮的气敏性能更佳,对乙醇、苯的气敏性能接近,而对于H₂稍差。