论文部分内容阅读
太阳能级多晶硅作为太阳能电池的基础材料,主要含有施主杂质P,As,Sb,Bi和受主杂质B,Al,Ga,In,Tl还有C,O,K,Na,Fe,Cr,Ni,Cu,Zn等杂质元素。辉光放电质谱法具有分析元素多、测定速度快、测定范围广、检出限低等优点,而成为对多晶硅固体样品进行直接测定的最有效的方法之一。因此本实验的主要目的是研制符合GDMS用的多晶硅标准样品来实现定量测定。调研了国内外太阳能级多晶硅的发展状况,以及各种杂质含量的范围。根据国内多晶硅的规格,以及GB/T/25074-2010对其杂