论文部分内容阅读
随着工业4.0、智慧智造等概念逐年深化,如何精确获取并量化体现机械设备角度改变成为必须解决的问题,设备寿命,产品质量等生产成本指标与测量值的准确性息息相关。因此,高灵敏、高精度、多功能的新型角度传感器的研发与打造智能化生产之路的发展不谋而合。角度测量技术发展不断成熟,出现了多种多样的角度传感器。其中电容式角度传感器具有分辨率高、动态响应好、稳定性好、结构简单和成本低等特性,非常具有研究意义。由于电容式传感器传统的测量电路复杂、难以消除寄生电容、输出非线性的缺点,造成了电容式角度传感器的分辨率低、成本