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随着低温等离子体技术的发展，低温等离子体氧化法被认为是处理甲苯废气的有效方法，具有效率高、能耗低、结构简单、无二次污染等优点。在以往的科学研究中，处理甲苯废气的低温等离子体氧化法基本上为脉冲电晕放电法、介质阻挡放电法等，而对于直流电晕放电法的研究较少。在本研究中，我们设计并建立了一套针板式电晕反应器装置，利用高压直流电晕放电产生低温等离子体。并以甲苯为研究对象，在实验中配备模拟甲苯废气，研究并总结了低温等离子体降解VOCs的一般规律。本实验首先对电源放电现象以及产生等离子体的性质进行研究。结果表明：起晕电压和击穿电压随着极距的增大而升高，并且相同条件下负电晕高于正电晕。O3、NOX产生浓度随着电压的增大而增大，随气体流速的增大而减小，并且相同条件下正电晕大于负电晕。但负电晕可以在较高电压下运行，产生比正电晕更多的氧等离子体和O3。在条件实验中，研究了不同放电参数对甲苯去除率的影响。结果如下：（1）在相同极距下，甲苯去除率随电压的升高而增大。（2）甲苯去除率都随电场强度的增大而增大，当电场强度为18 kV／cm，甲苯去除率可达73.21％。但若所加电压小于起晕电压，即使理论上已形成一定的电场强度，甲苯去除率也很低。（3）正电晕的甲苯去除率比负电晕的大，但负电晕可以在较高电压下运行，其最大甲苯去除率大于正电晕。极距为1.0cm时，正电晕最高电压时甲苯去除率为35.04％，而负电晕的最高可以达到59.52％；（4）甲苯去除率随气体流速的减小而增大。电压为16 kV时，气体流速为20、40、60 L／h的甲苯去除率分别为79.69％、59.52％、42.75％。（5）甲苯去除率随甲苯初始浓度的增大而减小，而甲苯去除量却随初始浓度的增大而增大。当电压为16 kV时，初始浓度为5398.13 mg／m3的甲苯去除率为59.52％，而初始浓度为25738.47 mg／m3的甲苯去除率只有33.97％。另外，随着初始浓度的增大，甲苯去除率和去除量的变化曲线渐渐变得平缓。（6）有催化剂时的甲苯去除率比无催化剂时的大，并且随着电压的升高，两者的差距变大。在气体流速为20 L／h、电压为16 kV时，无催化剂时的甲苯去除率为79.69％，而有催化剂时就高达87.82％。通过对甲苯降解产物进行分析，得出甲苯降解产物含有CO2，CO和H2O，并推测还生成其它有机成分。通过对CO的测定，可以推测甲苯分子经过彻底分解后，首先形成CO；随着电压的加大，CO在活性粒子的作用下进一步氧化成CO2。最后，本文对实验过程中遇到的各种问题进行了总结，并提出了解决措施。