目前工业上最常用的产生臭氧的方法是介质阻挡放电法,简称为DBD法。在臭氧发生器的等效电路和电气参数一定的情况下,供电电源的性能和品质就成了DBD法生成臭氧的效率的关键所在。在现今常用的臭氧发生器的电源拓扑中,逆变器主功率开关器件在运行过程中不同程度存在着开关损耗的问题,尤其在工作频率较高的情况下,开关损耗问题更为突出,使得主开关器件吸收回路和系统控制时序复杂,且系统功率因数较低,严重影响了电路工作效率和开关频率的提高,臭氧发生器功率的提升也受到了较大限制。本文在深入研究感应加热双频准谐振逆变电源拓扑的基础上,将此逆变拓扑移植于臭氧发生器电源,提出了一种新颖的双频准谐振臭氧发生电源。构建了基于双频逆变拓扑的双频准谐振臭氧发生器逆变系统,给出了逆变电路结构图,在时域范围内详细研究与分析了电源在半个工作周期内的工作原理和工作模态,推导出了电源的各模态数学模型。基于数学模型,得到了电源的调节特性、主要参数,如放电功率、放电能量、介质层峰值电压等的计算公式。采用DSP—TMS320LF2407处理器为核心,研究、设计了双频准谐振臭氧发生电源的控制系统,并用DSP设计了PWM脉冲发生、数字锁相环频率跟踪和死区时间的实时数字化调节功能,给出了过零比较、相位检测、IGBT驱动电路等电源控制系统功能模块的硬件电路图,同时,研究了双频电源的预充电启动方法,详细分析了电路预充电过程和启动过程并设计了启动电路。通过对臭氧发生装置实例的设计和仿真研究,验证了本文理论研究成果的合理性与可行性,表明双频准谐振逆变拓扑结构是可以应用于大功率DBD型臭氧发生器供电电源的,预充电启动方法能实现电源的可靠启动。