【摘 要】
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本文在综合分析国内外直线度、平面度测量方法的基础上，分析了常规测量方法在测量“大型非球面光学零件超精密加工技术”项目中关键零件的局限性，提出了利用气浮均化技
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本文在综合分析国内外直线度、平面度测量方法的基础上，分析了常规测量方法在测量“大型非球面光学零件超精密加工技术”项目中关键零件的局限性，提出了利用气浮均化技术提高测量基准精度，解决了测量中的摩擦问题。设计制作了气浮测量板，并用气浮测量板对一些几何形状复杂的工件进行了测量。本文还对气浮均化中的振动，承载力，气压等参数进行了分析和实验。并进行了气膜振动时域特性测试和气膜振动频域特性测试。
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