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利用气浮均化技术提高测量基准精度的研究
本文在综合分析国内外直线度、平面度测量方法的基础上,分析了常规测量方法在测量“大型非球面光学零件超精密加工技术”项......
学位
气浮测量板
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气膜振动时域特性
利用气浮均化技术提高测量基准精度的研究
提出了利用气浮均化技术提高测量基准的设想,依照气体静压理论设计了300mm×400mm气浮测量板;并作了两种检测方法的对比检测试验.......
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气浮均化技术
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