基于WO₃薄膜的电致变色器件具相对快速的响应时间、良好的循环性能等优点,可广泛应用于军事伪装、显示器制造、绿色节能建筑等方面。随着社会的进步与发展,对电致变色器件的性能需求不断提升。所以,有必要对WO₃电致变色薄膜及电致变色器件进一步研究以获得更加优良的性能。本文主要从以下几个方面进行相关的研究工作:（1）设计了新型的测试用电致变色器件组装工艺。本文采用PVC板构建电解液槽,并在板的边缘开口作为注液口,利用UV固化胶进行边缘外封。然后,利用注射器将所配的电解液注入,并用UV固化胶封口,完成整个器件的组装。整个过程均在手套箱中进行。经过后期的测试验证,此组装工艺解决了目前存在的漏液和产生气泡的问题,并且有效的避免了水氧对电致变色反应过程的影响。（2）采用射频磁控溅射的方式制备WO₃薄膜,研究溅射功率对WO₃薄膜和电致变色器件性能的影响。在本文中,我们采取ITO透明玻璃作为基底,利用磁控溅射工艺制备WO₃膜层,然后组装成器件,进行相关的测试。功率组的测试结果表明,随着溅射功率的不断增大器件在不同状态下的透过率和透过率调制幅度方面有着更好的表现,190W功率下的器件透明态和着色态透过率分别达到了76 T%和14 T%,调制幅度达到了62 T%。但是,在小功率溅射条件下,能够最好的响应时间,100W功率下的样品着色和褪色响应时间分别达到了13.56 s和2.91 s,同时器件各项性能的循环稳定性最高。（3）采用射频磁控溅射的方式制备WO₃薄膜,研究溅射气压对WO₃薄膜和电致变色器件性能的影响。溅射气压实验组的研究表明,当溅射气压过高或者过低时,器件在着色态透过率表现都较差,溅射气压为1.0Pa时能够获得最优的透明态和着色态透过率,在700nm波长处分别能够达到75 T%和16T%。对于器件的透过率调制幅度和器件的响应时间曲线进行分析发现,这两项参数均随着溅射气压的增大先升高后降低,而溅射气压为1.0 Pa时,能够获得59 T%的较高调制幅度以及13.56 s和3.11 s的着色和褪色响应时间。循环稳定性测试显示,器件各项性能的稳定性均随着溅射气压的升高先升高后下降,在1.0 Pa处能够获得最好的稳定性。（4）改进磁控溅射的工艺方式,采用分层、分时的方式进行纳米Ag修饰层的构建,得到WO₃-Ag复合电致变色薄膜,并研究Ag层的引入对WO₃和电致变色器件的性能影响。对复合薄膜及基于WO₃-Ag组装的器件研究发现,引入Ag层之后,器件的的响应时间得到了大幅度的降低,Ag层溅射时间为6 min时,着色和褪色响应时间分别达到了4.36 s和2.12 s。同时,各项性能的循环稳定性也有明显的提升。但是,Ag层的引入不利于提升薄膜在着色和褪色时的透过率表现以及调制幅度。