CVD金刚石硬度高，耐磨性好，是一种优异的拉丝模材料，在拉丝模行业具有广阔的应用前景。本文借助有限元工具对HFCVD系统中的拉丝模衬底温度场及其附近流场进行了系统的计算分析，获得了适合拉丝模内壁金刚石沉积的工艺参数，并开展了金刚石涂层拉丝模的沉积工艺以及抛光、拉拔效果的研究。本文所完成的主要研究工作以及所取得的主要成果如下：1.分析了拉丝模的内表面温度分布，并研究了不同热丝参数对拉丝模内表面温度的影响。热丝温度升高100℃，内孔温度将上升30℃~35℃；在0.4mm~1.0mm范围内，热丝直径每增大0.2mm，内孔温度依次上升100℃、80℃、60℃；每增加一根热丝，内孔温度升高约40℃；热丝间距减小1mm，内孔温度上升约20℃；热丝-衬底距离降低1mm，内孔温度上升约15℃；热丝阵列直径变化对拉丝模内表面温度影响不大。2.对于拉丝模竖置情况，采用热-流场耦合分析，得到了拉丝模内孔气流流场以及热丝与衬底之间的温度梯度。对拉丝模横置情况下其内孔的流场进行了分析，得到了不同进气参数对拉丝模内孔气流状态的影响规律。结果表明，增大进气速度只能增大拉丝模内孔气体的流速，而减小进气口与衬底距离能同时提高拉丝模内孔气体的流速和均匀性。3.采用HFCVD法制备金刚石涂层拉丝模，分析了不同预处理方式对拉丝模内孔金刚石涂层制备的影响。采用Raman光谱仪以及扫描电镜对涂层的成分和形貌进行了分析，拉丝模内孔制备出了组织致密、厚度均匀、纯度较高的金刚石涂层。4.采用超声波研磨的方法对金刚石涂层拉丝模的内孔进行了抛光，对比了不同沉积参数下金刚石涂层的抛光效果。结果显示，适当的降低沉积温度和增大碳源浓度能改善涂层的抛光效果。在化学工艺镀铜的焊丝生产线上对金刚石涂层拉丝模进行了拉拔试验，拉拔过程中涂层结合良好，但由于内孔表面光洁度不够而导致焊丝表面镀铜层局部脱落。