电火花加工的非接触加工、宏观作用力小等自身特点决定了其在微细加工领域的优势地位。经过几十年的发展以及加工工艺的不断完善,微细电火花加工不仅仅适用于微细轴、微细孔的加工,还能够进行三维微结构的加工。正因如此,微细电火花加工技术研究已成为微型机械制造领域的一个非常重要的方向,受到了国内外学者的广泛关注。但目前国内外学者对微细电火花加工技术的研究尚不系统,尤其是对微细电火花加工基础理论研究方面更显力度不足,至今还没有一套完整的理论模型来解释整个电火花加工过程。为此,本文尝试对微细加工过程中放电通道的建立过程以及通道的电磁特性;微细放电过程中电极材料的沉积、去除的微观过程;单脉冲放电电极材料蚀除量预测的热传导过程等微细电火花加工过程中的若干关键环节进行分析以及仿真模拟,并设计相应的实验来对所建立的模型进行了验证。由于电火花加工过程是在放电通道中发生、进行的,因此,放电通道的研究对于电火花加工技术研究有着重要意义。本文首先就放电通道展开研究,采用粒子模拟方法建立了放电过程的通道模型;对放电过程中等离子体通道的形成过程、以及等离子体通道的振荡特性进行了模拟研究;模拟结果清晰的反映了放电通道的发展过程,以及在此过程中,电子、离子的运动状态、带电粒子的空间分布。本文还分析了放电通道中等离子体的纵振和横振的形成机理;并且通过脉冲放电实验,证明了放电过程中放电通道的振荡波动对材料蚀除的影响,以及放电通道的电磁特性对于放电沉积过程中带电沉积粒子运动轨迹的影响。在电火花加工过程中,电极材料的物质转移是一个瞬时、微观的过程,因此采用微观模拟的手段对放电过程中电极材料的微粒运动过程进行分析模拟,将更有助于探寻电火花加工过程中电极材料形貌变化的工艺规律。为此,本文采用分子动力学方法建立了针尖电极放电的分子动力学模型,以及气中放电沉积的分子动力学模型;模拟了单脉冲放电钨针尖电极的形成过程和气中放电沉积的微观过程。在模拟过程中发现在针尖电极形成过程中存在着单个原子的气化去除和团簇原子的气化去除现象,并且就不同的放电点机制以及外加电场力进行了讨论。发现在匀强电场力作用下,针尖电极的形成过程与实验现象更加相符,并且分析了不同的电场强度以及放电点温度对于针尖电极形貌的影响。在气中放电沉积的分子动力学模拟中,得到了放电沉积过程模拟中微观参数与放电沉积参数之间的对应关系。模拟结果表明:仿真沉积过程中电场力、沉积动能与沉积速度的变化关系与实验所得到的沉积实验峰值电流和沉积速度关系十分吻合,很好的模拟了放电沉积过程中沉积粒子的微观运动过程,为进一步研究气中微细电火花沉积的工艺规律以及三维微细沉积加工奠定了一定的理论基础。从热传导角度来研究放电能量与电极材料蚀除量之间的关系,以此探寻电火花加工过程中材料的蚀除机理,一直都是电加工理论研究的热点之一。为此,本文采用有限元方法对不同热源模型下放电过程中电极材料的温度场分布进行了深入分析,得到了在格林热源载荷方式下,时变半径、定功率的热传导的解析方程;并且应用有限元仿真软件对单脉冲电火花加工过程的电极材料的温度场(变化)进行了仿真。在仿真过程中,充分考虑了电火花加工过程中的载荷以及电极材料物性参数随温度的变化特性、加工过程中的相变问题。对放电通道中的热流密度载荷的分布情况进行了深入的分析,得到了凹坑直径、深度与单脉冲脉宽、电流的对应关系。最后,本文研制了单脉冲放电实验电源,通过单脉冲放电试验对放电点热传导的有限元仿真模型的预测精度进行了检验。通过试验证明仿真模型具有85%以上的预测精度。