随着硅微加工技术的不断成熟,硅微加速度计已经在传感器市场占据着越来越重要的地位。传感器技术的发展也对其外围检测电路提出了越来越高的要求,对硅微传感器敏感元件输出的微弱信号的检测是目前研究的热点之一。微小型化的传感器敏感元件必然也要求微小型化的外围电路与之相匹配,电路的集成化是必然的趋势。本文对硅微加速度计研究中的热点——电容式加速度计和隧道式加速度计的微弱信号检测电路进行了设计、测试及标定,并对电容式加速度计及所设计的检测电路进行了厚膜混合集成。在了解梳齿式电容加速度计检测原理的基础上,完成了其差分检测电路的设计,为保证其线性度和提高量程,采用了闭环反馈控制电路。测试了所设计电路的分辨率,已达。与电容式加速度计进行了联调,并进行了传感器的静态及动态测试,各项测试均较理想。对隧道式加速度计的检测原理——隧道效应,进行了介绍,并对北京大学加工的隧道式加速度计进行了开环测试,及对系统进行了SIMULINK仿真用于指导隧道式加速度计检测电路中参数的设定。对三轴隧道式加速度计进行了线性度测试及标定。并对真空封装的隧道式加速度计进行了PID设计及仿真。电路集成可以使外围检测电路微型化,提高电路性能和稳定性。采用厚膜混合集成工艺完成了电容式加速度计及其检测电路的集成,对厚膜混合集成所选用的元器件、材料及制作工序进行了详细的论述,对集成后的电容式加速度传感器进行了功能测试,可知其分辨率较之集成前提高了一个数量级。