【摘 要】
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单片微波集成电路(MMIC)具有体积小、重量轻、低成本和高可靠性等特点,已广泛应用于卫星通信转发器、移动通信、遥测遥感等电子系统中。本论文研究设计并实现了一款8.5～10.5GH
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单片微波集成电路(MMIC)具有体积小、重量轻、低成本和高可靠性等特点,已广泛应用于卫星通信转发器、移动通信、遥测遥感等电子系统中。本论文研究设计并实现了一款8.5～10.5GHz GaAs MMIC功率放大器。论文设计了功率放大器的系统电路,研究分析了有源器件、无源元件的性能,利用ADS软件对设计的电路和版图分别进行了电学参数与电磁仿真优化。放大器采用0.35μm栅长的GaAs HFET作为有源器件,采用NiCr金属膜电阻和SiNx平面介质电容,同时采用了空气桥连接、背面通孔接地等工艺技术。放大器输入输出匹配到50Ω,微波性能测试结果表明,放大器的频率为8.5～10.5GHz,功率增益≥25dB,脉冲饱和输出功率≥8W,功率附加效率≥30%,主要技术参数达到设计指标,满足应用需求。
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