【摘 要】
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多晶硅生产中的氯硅烷固渣浆料混合物的处理,是多晶硅生产中必须面对的难题。固渣浆料混合物水解后的废液含有高浓度氯化氢,水解过程耗水量大,废水处理需要更多工序,耗费大量物资
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多晶硅生产中的氯硅烷固渣浆料混合物的处理,是多晶硅生产中必须面对的难题。固渣浆料混合物水解后的废液含有高浓度氯化氢,水解过程耗水量大,废水处理需要更多工序,耗费大量物资和能耗。因此,研究开发一种能在密闭容器中直接分离有害液体和固渣的浆料搅拌干燥机,实现四氯化硅、三氯氢硅系统内回收,对多晶硅生产发展具有重要意义。本文对浆料搅拌干燥机关键结构进行了设计,并运用计算流体力学方法模拟了浆料搅拌干燥机截面流场和整体流场,形成了一套针对卧式搅拌过程进行Fluent模拟的一般方法。文章确定了搅拌槽采用卧式布置方式,搅拌桨采用双螺带式,推导了螺带式搅拌桨搅拌功率计算公式。引入接触比例和接触系数的概念,对二维流场进行正交模拟试验和影响因素分析,初始液位高度越高,接触系数越大;搅拌转速越大,接触系数越小;流体粘度越大,接触系数越小。引入摊平系数和分散率的概念,对二维流场的相分析、动压力分析和速度分析结果表明,从提高速度梯度的角度看,搅拌槽在9~10r/min的转速下运行较为合适;从提高搅拌桨整体的稳定性看,12r/min的转速下运行时较为合适;可考虑采用除沫器、布袋除尘器拦截进入系统的颗粒物。分别计算螺带螺距为1600mm、2048mm、2400mm,搅拌桨转速为6r/min、18r/min、24r/min、30r/min、36r/min,以及流体粘度为0.005Pa s、0.05Pa s、0.5Pa s、5Pa s、50Pa s的三维流场,结果表明螺带螺距为2048mm、转速在12~18r/min较为适宜;流体粘度越大所需扭矩越大,随着粘度的增大,扭矩的增大速度也逐渐提高。
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