“过于”“过分”是超量级程度副词的典型代表,因二者使用频率高、语义相近且极易相混而为人们所关注。词语意义的分辨往往在共时层面上难于识读,多需要参照历时的由来才能看得更清楚。本文以汉语中“过于”“过分”二词为研究对象,以北大语料库中相关语料的穷尽性搜索为基础,采取历时与共时相结合、定量和定性相结合的方法,首先对“过”“分”“于”的语义句法表现进行了描写,然后对程度副词“过于”“过分”的语法化过程进行考察,并将二者的演化路径进行对比分析。在此基础上,从共时层面对“过于”“过分”的使用情况做了细致分析并归纳了二者在表义倾向、使用语体等方面的异同,同时对“～于”类词、“过～”类词的使用情况也进行了考察。研究发现,“过”在中古时期已初具副词用法,“于”约于魏晋时期其动词的语义及功能趋于消失、词缀化的倾向已明确体现,“分”的词性多样,从六朝开始出现表程度的用法。从汉语史来看,“过于”的成词早、使用频率高,隋唐已可与双音节形容词搭配使用,所修饰对象均位于其后,语义较为单一,明清时期完成语法化;“过分”最早相连使用始于六朝但并未成词,所修饰对象前后均可出现,语义较丰富,语法化不彻底。现代汉语中,“过于”可修饰对象的范围广泛,书面语体色彩鲜明,黏着性强;“过分”则比较自由。此外,“～于”类词属于附加式构词,造词能力强,但其词汇内涵不够明晰;“过～”类词属于复合式合成词,构成语素意义较实在。