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电容式加速度计传感器是一种基于检测电容变化来检测加速度大小的一种惯性传感器,其具有很好的直流响应,可靠性好,负载阻抗高,在军事、民用方面都有着巨大的应用潜力。微加速度计的输出信号及其微弱,机械带宽通常只有几百赫兹,这对其接口电路的设计提出了挑战,而调制器所采用的过采样工作模式能够很好地抑制噪声且适用于低频领域,同时能够实现信号的数字化,因此,基于Σ?Δ调制技术的微加速度计具有重要的研究价值,目前国内关于这方面的研究非常少。本文首先在研究加速度计的工作原理和检测原理的基础上,建立了它的Si