本文对准分子激光投影直刻微加工和扫描直写微加工的若干特性进行了研究,全文主要内容包括: (1)介绍了准分子激光的微加工特性及其在微加工领域的应用,揭示了准分子激光与金属材料、聚合物材料(PMMA)之间的相互作用机理,着重从准分子激光热效应的角度来描述了准分子激光投影直刻和扫描直写两种加工模式的特性。(2)研究了准分子激光投影直刻微孔加工中激光工艺参数与微孔入口孔径、形貌、表面横向影响区、最大刻蚀深度等微结构样品特性的关系,通过一系列的工艺实验,获得了激光工艺参数与微结构样品特性的关系曲线。(3)研究了准分子激光束扫描微加工中扫描速度、扫描次数等扫描特性与图形质量(如图形线宽、横向热影响区等)的关系,通过对金属材料与有机玻璃材料的准分子激光扫描直写工艺实验结果的分析,验证了准分子激光扫描图形加工的微加工特性。研究发现,较大的扫描速度、较小的脉冲频率、较低的脉冲能量有利于减小图形的线宽和热影响区。通过上述工艺参数的优化在有机玻璃上得到了图形质量较好的微电梳图形和“HUST”图形,并以此作为模型,电铸得到了具有一定深宽比的微结构。最后,总结了准分子激光直刻微激光工艺及其理论,揭示上述关系曲线的物理化学本质,为进一步改进准分子激光微加工工艺提供了依据,并对其做出了展望。