硅基二维光子晶体光电化学制备技术研究

来源 :长春理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangor2008
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
光子晶体是一种介电常数成周期分布的介质材料,周期为光波长量级。在光子晶体材料中存在着特殊的频带,在这些频带中光波被禁止传播。由于此种特点,光子晶体可以用来制造全新原理的、高性能的光学器件,具有广阔的应用前景。 本论文首先介绍了光子晶体概念和应用的领域,并对其基本原理和理论进行了相关阐述。在掌握理论基础上设计了一套工艺流程,以n型硅为基体,经过氧化、光刻、各向异性腐蚀、光电化学刻蚀等步骤,最后得到二维光子晶体结构,并且自行设计了电化学池以及相关的电化学系统装置,并对整个工艺过程逐步分析,对出现的问题进行讨论研究。 本论文的重点工作在于工艺实验参数的优化,对影响工艺的因素(如光刻中曝光时间、电化学腐蚀中溶液浓度、电压、光照等)做出较全面的分析,并对某些在工艺中起重要作用的参量给出相关的曲线描述。
其他文献
近年来,平板显示已成为显示技术的发展主流,其中有机薄膜电致发光器件(OLED)已成为众多平板显示技术中非常有实力的竞争者,它具有其它平板显示技术无法比拟的优势。虽然OLED技术日
塞萨·弗兰克(Cesar Franck)作为法国十九世纪重要的作曲家、“法国民族音乐协会”的开拓者,在十九世纪浪漫主义时期,却坚持古典主义形式的传统,探索独特的浪漫主义语言,在歌
声表面波是英国物理学家瑞利在19世纪80年代研究地震过程中发现的一种能量集中于地表传播的声波,随着研究的深入,特别是R. M. White和F. M. Voltmov发明了能过接收和激发声表
语篇分析是英语阅读教学中的重要手段,它注重语篇的结构层次与阅读方式、语篇体裁的讲授、背景知识、理解语篇主次及语篇的内在结构。同时它也非常讲究语篇的意义连贯。本文
本文对大兴安岭北段伊图里河地区黑云二长花岗岩进行了系统的地球化学及锆石U-Pb同位素年代学研究,旨在查明其成岩时代及岩石成因,并探讨其构造意义。研究结果表明,该黑云二
信息技术的快速发展促使半导体制造技术逐渐提高,光刻分辨率按照摩尔定律的预言继续减小。通过移相掩膜、光学临近校正和其他分辨率增强技术,光学光刻实现了小于入射光波长特征
<正>9月11日,由国家知识产权局主办、知识产权出版社承办的"中国专利信息年会2014"在北京开幕。年会期间,由知识产权出版社"来出书"图书自助出版平台(www.laichushu.com)与国
中国乡村现代化建设经历了40余年,尤其是中国新农村建设、新型城镇化、特色小镇和城乡一体化以及十九大报告中提出并实施的"乡村振兴规划"等一系列重大乡村改革实践推动了中
目的了解影响县、乡两级卫生人员离职倾向及其影响因素,为卫生主管部门制定吸引、留住、稳定农村卫生人才政策提供参考。方法采用定性研究与定量研究相结合的方法开展研究。
鲁迅是大师,在创作上历来严谨,词句练达堪称典范,这自不必说,就是标点的运用也十分的讲究,颇值得我们去仔细揣摩研究。