基于裙摆型探针的三维原子力显微技术

来源 :天津大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：coolcool1234567

【摘要】

：

近年来,以半导体器件关键尺寸测量为代表的高端工业应用需求使微纳米结构真三维形貌的检测受到越来越广泛的关注。三维原子力显微镜(3D-AFM)分辨力高,不损伤样品,且能探测陡峭侧壁,是一种极具潜力的真三维检测技术,但此类设备较之传统AFM在仪器结构和控制方法上更为复杂,技术成熟度和应用普及度仍有较大提升空间。本文围绕3D-AFM技术展开研究工作,自主研制了一套基于裙摆针尖(flared-tip)的3D

【作者】

：

张锐

【机构】

：

天津大学

【出处】

：

天津大学

【发表日期】

：

2020年01期

【关键词】

：

探针三维

【基金项目】

：

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

外包型矿山薪酬问题及对策研究

摘要本文通过对X公司这家以外包为主的矿业公司的薪酬体系进行研究，找出其中存在的薪酬问题，并提出一些粗浅的设计方案，以期对外包型矿业公司有一定的借鉴作用。　　关键词 X公司薪酬问题对策　　中图分类号：F014.5 文献标识码：A　　在现代的人力资源管理体系中，薪酬管理是其中的一个核心模块。在当前市场经济以及全球一体化的时代背景下，薪酬问题在企业的发展过程中占据了一个极为重要的位置，因为薪酬管理

期刊

基于振动信号分析的便携式发动机转速测量系统研究

学位

振动信号分析便携式发动机转速测量

时差法与鉴相法相结合的超声波风速风向测量系统设计

超声波风速测量技术是近年来风速测量领域应用最广泛的技术,然而,传统基于时差或鉴相原理的超声波风速测量方法存在不能同时兼顾测量精度和测量范围的问题。为此,本文提出了一种时差法与鉴相法相结合的大量程高精度超声波风速测量方法,并搭建了超声波风速测量系统原理样机,实现了大量程高精度的超声波测量。主要研究工作如下:1、针对大风速环境气象监测及低速风洞实验对风速测量仪大量程高精度的测量需求,建立了将时差法与鉴

学位

时差法鉴相法超声波风速风向

重庆市南川区产业结构优化分析

摘要产业结构作为经济增长的结果和继续增长的起点，其对经济增长的作用至关重要。本文以产业结构优化理论为基础，结合重庆市南川区产业结构的现状及问题，根据投入产出分析，研究了南川区经济发展及产业结构特点，找到南川区产业结构优化的主要途径，进一步发展了南川区产业结构优化研究，提出了相应的政策及措施。　　关键词产业结构优化产业升级　　中图分类号：F326.2 文献标识码：A　　一、绪论　　（一）研究

期刊

区域信息化测度模型研究综述

摘要本文通过总结国内外学者关于信息化的多种定义、区域经济信息化测度模型和方法，指出了现有研究中存在的各种不足。而在经济全球化和区域经济一体化背景下，如何站在区域系统的角度来理解和衡量信息技术带来的经济社会变革是一个重要的议题，本文基于系统理论提出了要素-结构-功能-环境的区域信息化及其测度的系统模型，以期深化信息化与区域发展之间的关系认识，为区域信息化研究与应用提供理论基础。　　关键词区域信息

期刊

我国蔬菜价格波动的经济学分析及对策

摘要随着我国农业产业结构的进一步调整和优化,“菜篮子”保障问题越来越受到人们的关注，部分城市蔬菜自给率过低，蔬菜价格大起大落、农民“卖菜难”和居民“买菜贵”并存等问题日益突出。本文以粮食供求分析为理论基础，以蛛网模型为理论工具，通过与粮食供求的对比，对菜价波动的特殊性进行定性分析，并重点从供给方面入手对市场经济条件下我国的蔬菜价格调控提出合理化建议。　　关键词蔬菜价格蛛网模型价格弹性　　中

期刊

基于线阵图像深度学习的车身激光焊瑕疵快速检测方法

学位

线阵图像深度学习车身激光焊瑕疵

基于激光外差干涉法的微振动测量系统的研究

MEMS(Micro Electro Mechanical System,微机电系统)器件依据可动结构来实现相应的功能,其主要发展趋势是器件越来越小,频率越来越高。为了保证器件的性能,振动特性测量必不可少,不仅要求测量其谐振状态的振幅和相位等基本信息,而且需要获得其它振动模态下的信息。因此微振动测量仪器应该具备高带宽、高测量灵敏度和大的振幅测量范围等特点。激光外差干涉技术具有灵敏度高,受环境影响小

学位

激光外差干涉法

谈建筑企业工程项目会计实施委派制的可行性

摘要本文就实行建筑企业工程项目会计委派制的必要性和存在的问题及建筑企业工程项目会计是否发挥作用的原因进行分析。以更好地进行完善方式来解决当前建筑企业工程项目会计工作中存在的一些问题,从而全面提高会计信息质量。　　关键词建筑项目会计委派制可行性　　中图分类号：F426.9 文献标识码：A　　一、建筑企业工程项目会计实施委派制的积极意义　　随着我国经济体制改革的不断深入和经济转型时期的特殊需

期刊

深海自持式智能剖面浮标系统中若干关键问题研究

学位

深海剖面浮标系统

基于裙摆型探针的三维原子力显微技术

与本文相关的学术论文