由微加热器和微热敏传感器组成的微型温度控制器具有尺寸小、精度高、功耗低、升温快等优点,可以广泛应用在需要温度控制的诸多领域。目前,传统的微加热器制造主要利用刻蚀、掺杂、光刻、溅射等薄膜工艺来完成,工艺复杂、成本高,因而研发新的工艺来制造微加热器和微热敏传感器具有重大的实用价值。本文提出了两种制备微型温度控制器的新方法——匀胶激光直写法和微笔直写法。与传统薄膜工艺相比,该方法大大降低了工艺复杂性和生产成本。文中详细研究了两种直写方法制造微加热器和微热敏传感器的技术和工艺,并成功制备出了微型温度控制器阵列。本文还通过SEM和热分析等分析方法,对微加热器导电和发热的机理进行了探讨。对所制造的微型温度控制器进行了性能测试,包括参数涉及微热敏传感器的TCR值、线性度,微热敏传感器通电时间、通电电压值和空间位置对温度的影响。结果表明,微热敏传感器的阻值与温度近似成线性关系,线性度小于1.0。微加热器的温度随着通电电压的增大而升高,随着通电时间的延长而升高并最终达到稳定值;基板上某点的温度值随着与微加热器之间距离的增大而降低。对恒定电压下的升温速率进行了计算和测定,第一分钟内加热速度可达0.45℃/s。在上述研究工作的基础上,根据微型温度控制器阵列的特点,设计和制作了微温度控制器所需的外围电路系统,成功实现了温度的控制和显示,最后集成了制造出了温控设备。