【摘 要】
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近年来,液相法制备过渡金属或过渡金属氧化物应用于催化高氯酸铵(AP)的热分解已被广泛研究,但用磁控溅射法等物理气相沉积方法制备过渡金属及氧化物薄膜应用于AP热分解反应的研究还几乎未见报道。本文以99.99%高纯无氧铜为靶材,采用磁控溅射法制备铜薄膜,随后对其进行氧化处理得到铜氧化物薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)、原子力显微镜(AFM)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)
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近年来,液相法制备过渡金属或过渡金属氧化物应用于催化高氯酸铵(AP)的热分解已被广泛研究,但用磁控溅射法等物理气相沉积方法制备过渡金属及氧化物薄膜应用于AP热分解反应的研究还几乎未见报道。本文以99.99%高纯无氧铜为靶材,采用磁控溅射法制备铜薄膜,随后对其进行氧化处理得到铜氧化物薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)、原子力显微镜(AFM)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)和台阶仪等测试手段,分析讨论了基底材料、溅射功率、溅射压强、沉积时间和氧化温度对铜及氧化物薄膜结
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