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锆钛酸铅（PZT）是一种优良的铁电材料，具有耦合系数和压电系数大、居里点高及可通过变更配比度和掺杂在很大范围内调整性能以满足多种不同需要等优点。把PZT制成薄膜状，并保持其优良的电学特性，能大大缩小器件的体积，提高器件的性能；此外，还能利用二维材料的特有性能，使PZT在传感器等多方面的应用获得更广阔的前景。 本文以降低PZT薄膜退火温度，提高电学特性为目的，研究了RF溅射法制