【摘 要】
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热子型吸气剂是真空电子器件内部维持真空环境的关键元件,其主要由表层吸气材料,加热丝及绝缘层三部分构成。其中,绝缘层主要起到隔离吸气材料和加热丝、保证热子型吸气剂激活一致性的关键作用。目前电泳法制备的绝缘层存在烧结温度高、涂层质量差等问题,影响了热子型吸气剂激活电流的一致性,难以满足现有真空器件对热子型吸气剂一致性、可靠性的要求。本课题针对热丝绝缘层存在的问题,系统开展了热丝绝缘层的电泳沉积工艺研究
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热子型吸气剂是真空电子器件内部维持真空环境的关键元件,其主要由表层吸气材料,加热丝及绝缘层三部分构成。其中,绝缘层主要起到隔离吸气材料和加热丝、保证热子型吸气剂激活一致性的关键作用。目前电泳法制备的绝缘层存在烧结温度高、涂层质量差等问题,影响了热子型吸气剂激活电流的一致性,难以满足现有真空器件对热子型吸气剂一致性、可靠性的要求。本课题针对热丝绝缘层存在的问题,系统开展了热丝绝缘层的电泳沉积工艺研究。首先研究了悬浮液成分、电泳工艺、烧结助剂及烧结工艺对涂层质量的影响。随后对优化工艺后制备的热子进行了吸
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