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微驱动技术和精密定位技术是实现精密和超精密加工的基础条件,也是现代信息制造技术发展中的关键技术之一。传统的微位移驱动系统,如压电陶瓷驱动器,位移输出小、输出力小、工作电压高、电绝缘要求高,限制了更广泛的应用。利用超磁致伸缩材料制成的超磁致伸缩微位移执行器具有应变大、输出力大、快速响应、纳米分辨力等优点在微位移执行器领域显示出极其广阔的应用前景。然而超磁致伸缩材料本身的强非线性,受外部环境影响大,使制成的执行器开环工作精度低。因此,高稳定性的超磁致伸缩微位移执行器的研制和应用,具有十分重大的意义。