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永磁平面电机直接由电磁力产生平面非接触式的定位运动,结构简单且定位精度高、热损耗低、响应速度快,在IC装备中具有广泛的应用前景。研究平面电机性能参数的测试方法对促进平面电机的产品化进程具有重要意义。本文在对平面电机磁场等主要参数的分析基础上研究了永磁阵列空间磁场、推力波动、温升的测试方法。1、采用有限元方法对永磁阵列产生的空间磁场进行了静磁场仿真分析。明确了该磁场的空间分布规律及幅值范围并据此确定了霍尔探头的摆放位置及磁场测试方法。2、采用解析计算的方式分析了平面电机的静态推力波动并