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透明氧化物(TCO)薄膜因具有优异的光电性能而被应用在各种光电器件中,如平面液晶显示器、太阳能电池等。随着TCO薄膜制备方法的不断改进、成熟以及聚合物基TCO薄膜的开发,TCO薄膜将具有更广阔的应用发展空间。本文首先介绍了透明导电氧化物薄膜的发展历程以及应用领域,针对其面临的主要问题,引出新一代透明导电氧化物薄膜材料:掺铝ZnO(ZAO),论述了ZAO薄膜的电学、光学性能,并对制备方法作了比较详尽的介绍,包括激光脉冲沉积法、喷雾热解法、分子束外延法、金属有机物化学气相沉积法、溶胶凝胶法和