微静电开关的非线性动力学

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【摘要】

：

微型电子机械系统(MEMS)采用与集成电路(Integrated Circuits,IC)技术相兼容的加工技术，制造出尺寸达到微米甚至纳米级的机械，尺寸效应和表面效应及相关的科学问题导致了其中存在诸多非线性因素,如微机械元件的几何非线性﹑所用特殊材料的非线性﹑磁场力与气隙的非线性等等,往往导致基于线性动力学的设计失效。初步研究表明:非线性对微机械电子系统动力学行为有着严重的重要的影响。本文研究了一

【作者】

：

陶志军

【机构】

：

天津大学

【发表日期】

：

2004年06期

【关键词】

：

微电子机械系统内共振静电开关约束分岔

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