近年来,随着可持续发展,环境保护等观念的深入人心,以及常规化石能源的日渐枯竭,开发新能源和可再生清洁能源成为21世纪最具决定影响的技术领域之一。太阳电池研究的主要任务转到了如何成为替代能源的方向上来。但是,基于常规的晶体硅太阳电池成本下降的空间有限,很难与常规能源相竞争,薄膜太阳电池正以其优越的性能成为这个领域中值得期待的发展方向。这其中非晶硅薄膜太阳电池是目前国际上研究的热点之一,其成本低廉,制备工艺简单,并且可以沉积在玻璃、不锈钢、塑料等基底上。但是,非晶硅薄膜又有其致命的缺点,即光致衰减(S-W)效应,这使得太阳电池的寿命大大降低,利用率也同样受到了影响。因此,高效、稳定并且廉价的多晶硅薄膜太阳电池有望成为新一代无污染民用太阳能电池。本文主要研究了用于太阳电池的多晶硅薄膜制备技术,其中着重研究了激光晶化法。首先通过等离子体化学气相沉积系统在普通玻璃衬底上沉积一层非晶硅薄膜。然后通过激光退火法来探索非晶硅薄膜的晶化工艺,使非晶硅薄膜中的部分晶粒通过再结晶的过程由非晶相向多晶相转变,从而达到弱化S-W效应,提高薄膜整体性能的目的。薄膜实现晶化后,通过X射线衍射和拉曼散射光谱来表征薄膜的晶化结构,并使用原子力显微镜表征晶化后薄膜的表面形貌。与此同时,进一步通过ANSYS10.0有限元分析软件建立理论模型,运用稳态热分析来研究薄膜内部的温度场分布以及由此引起的热应力。