CAN是一种串行通信协议,开发之初主要用于连接汽车和卡车的传感器和电子模块,由于CAN总线数据传输的高可靠性,在各种电气领域上的应用越来越广泛。外部的雷击和ESD等电气瞬变会对CAN总线数据传输和硬件带来不可预知的损坏,因此,针对CAN总线就需要给出一系列的保护措施,比如在端口上加入TVS保护器件,基于此,文中重点开展了一款保护CAN总线的TVS二极管的设计和分析。主要工作如下:1、针对CAN总线的特点,同时对CAN总线保护用TVS的特性进行深入分析,提出了TVS结构并确定了TVS的性能参数。结合普通电容方案、串联降容管方案、集成方式低电容方案,提出了结合普容TVS二极管和集成降容管方案来实现低电容TVS二极管的设计。提出其结构设计方案后,设计普容TVS二极管和集成降容管的工艺方案,为后续仿真及优化奠定基础。2、借助仿真软件,对提出的结构和工艺方案进行仿真,仿真出普容TVS二极管和集成降容管的基本参数后,对普容TVS二极管的电阻率、外延层厚度、扩散条件、注入剂量以及集成降容管的电阻率和外延层厚度进行优化仿真,确定合适的工艺调整窗口,最终通过仿真得到一款击穿电压为25.3V,电容17.2p F,漏电小于0.1μA的普容TVS二极管,以及一款电容小于3p F的一款集成降容管,整体符合设计指标要求,并对符合参数设计的该器件进行了版图绘制。最终将版图方案以及工艺方案导入到代工厂。3、对流片后的芯片样品进行封装并抽样测试,最终实现一款电容小于3p F,击穿电压在28.35V～28.67V,漏电流小于0.005μA,最大峰值脉冲电流过5A,残压小于40V,ESD接触放电能力过±30k V的一款双路双向低电容TVS器件,符合设计指标。文中所做的工作为CAN总线保护用TVS的产品化工作打下了坚实的基础,同时也希望争取尽快实现低电容TVS产品的国产化替代。