本文针对低温等离子体法去除挥发性有机物(VOCs)进行了实验研究。根据等离子体的基本理论，得出了等离子体处理VOCs的机理：在放电反应中产生的活性粒子(如高能电子、臭氧、自由基等)的作用下，发生一系列的物理化学反应，使有害的VOCs转化成无害的物质。可能的途径为：首先，高能电子经过与目标分子发生非弹性碰撞，将能量全部或部分传递给分子，使其裂解，激化等；接着被高能电子裂解、激化的分子在臭氧和氧等等离子体的作用下，被氧化成CO2、CO和H2O。 在VOCs的去除实验中，选取苯、甲苯和甲醛作为研究对象。实验在高频电源的条件下进行，主要考察了电源参数和反应条件参数与污染物去除效果之间的关系。结果表明，污染物去除率随着电源电压的增加而提高；随着放电电流的提高而提高；随着频率的增加而提高；随着停留时间的增长而增加；随着进口浓度的增加而降低，但降低趋势不明显。实验围绕在反应器中添加填料对污染物去除效率的影响进行了研究，以钛酸钡和亚硝酸钠两种物质作为填料进行了实验。结果表明：加有钛酸钡填料和亚硝酸钠填料后可有效提高苯、甲苯和甲醛的去除率，加有钛酸钡填料的反应器比亚硝酸钠填料的反应器更有利于对污染物的去除。