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数字微镜装置（DMD）技术是微电子机械系统（MEMS）的一个重要发展方向。本文在综述数字微镜装置和数字光处理技术（DLP）的工作原理的基础上，分析了数字微镜装置的脉冲宽度调制（PWM）控制原理、明确了对数字微镜装置的机电控制方法，建立了DMD的PWM机电控制系统模型；设计了基于复杂可编程逻辑器件（CPLD）技术的控制方案，并在MAX＋PLUS Ⅱ软件平台上对部分核心模块予以实现。 本文还探讨了一种新的基于压杆失稳原理的DMD模型，设计了该模型的基本结构，确定了该模型的主要参数，分析了该新型DMD的基本工作原理；对该模型的力学特性，特别是失稳压杆的大挠度、非线性变形进行了大量的分析与计算；最后，对该结构的极板运动过程进行了数值仿真，得到了较为合理的仿真结果。 该项研究在投影设备、数字电视、光通信等领域具有广阔的发展前景和巨大的潜在商业价值。